三好面は、平野北西部の三好町を中心に分布し、三好層と呼ばれる砂礫層が分布し、標高３０〜１２０ｍの丘陵地を形成している。

挙母面は、西三河丘陵と呼ばれる豊田市の台地で、北部は矢作川による河成の砂礫層、南部は海成の砂層から構成されている。

碧海面は、平野南部に広がる碧海台地にあたり、河成または海成の段丘である。北東から南西に向かい、緩やかに高度を減じる。国道１号線以北は、矢作川による河成の砂礫層、南側では碧海層と呼ばれる海成の砂層・泥層が卓越する。

越戸面は、規模が小さく矢作川沿いの豊田市より上流に局所的に分布する。

矢作川河口に広がる矢作川低地は、領家花崗岩の風化したマサと粘性土から構成されている。